半導体ウェーハの絶縁・保護材料に関する用語集
リリース時間：
2025.11.27
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本用語集は、半導体ウェーハの製造・保管・輸送の各工程において、汚染・静電気・物理的損傷から保護するために用いられる各種材料の名称を体系的に整理したもので、日本語と英語の対訳、使用場面および微妙な差異を網羅しています。
一
核心的な共通用語
この種の用語は最も広く用いられ、通常は特定の材料を指すのではなく、その核心的な機能を示すものである。
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|---|---|---|---|
| ウェーハ間隔離材 | ウェーハ用分離紙／ウェーハ用スペーサー | 最も主流で標準的な用語
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SEMI規格推奨用語
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| ウェーハスペーサー | ウェーハスペーサ／ウェーハ間隔ストリップ |
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| ウェーハセパレーター | ウェーハ分割シート |
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| ウェーハシム | ウェーハ用薄いスペーサー／すき間埋めシート |
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| ウェーハ・インタポーザー | ウェーハ転送パッド／インターポーザ |
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| ウェーハフィルムライナー | ウェーハ用膜パッド |
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二
機能属性による細分化された用語
このような用語は、材料の特定の核心的な特性を際立たせている。
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|---|---|---|---|
| ESD保護シート／ESDウェハ用インターリーフ | 静電気防止保護シート／静電気防止ウェハ分離紙 |
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| ウェーハクッションパッド／クッションインターleaf | ウェーハ用緩衝パッド／緩衝分離パッド |
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| ウェーハキャリアライナー／カセットライナー | ウェーハキャリアライナー／晶舟ライナー |
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| クリーンルーム用インターリーフ／超清浄シート | クリーンルーム用隔離紙／超清浄シート |
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三
材料の種類別に細分化された用語
このような用語は、材料の構成を明示しており、技術選定や調達を容易にします。
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|---|---|---|---|
| 不織布（タイベック®など） |
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優れた清浄度、低析出、良好な強度
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| ポリマー薄膜（例：PET／PE／PP） |
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表面が滑らかで粒子の発生が少なく、高透明性を実現できます。
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| 発泡材料（EPE/PEフォームなど） |
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優れた緩衝・衝撃吸収性能
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| 導電性／帯電防止複合材料 |
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表面抵抗が極めて低く（10^3～10^6 Ωまで可能）、静電気防止性能が最も優れています。
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四
使用シーンと用語選択ガイド
ウェーハファブのエンジニアと連絡を取る ：優先的に使用する 「ウェーハ間隔離」 または 「ウェーハ分離紙」 これは最も専門的で、曖昧さのない用語です。
車両（キャリア）メーカーとの連絡 ：具体的な構造に応じて、使用できます 「スペーサー」 または 「ライナー」 。
輸送包装計画に関わる ：使用すべきである 「クッションパッド」 または 「クッション」 要件を明確にします。
技術仕様書または調達文書の作成 ：「」の採用を提案します 材料 + 機能 「」の組み合わせによる命名方法、例えば： 「帯電防止PETウェハ用インターリーフ」 、正確無誤であることを確保するために。
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まとめ
用語は多様であるにもかかわらず、 「ウェーハ間隔離」 これは、最も核心的で標準的な名称である。実務においては、コミュニケーションの相手や適用場面に応じて適切な用語を選択し、あるいは重要文書において複合的な名称を用いて厳密に記述することが、情報伝達の正確性を確保するための最良の慣行である。
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