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ウェハ梱包システム
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eJR缶式ウェハー包装箱
技術仕様：
6/8/12インチウェハーに対応、包装密度を40％向上（従来方式と比較）
材質：ESD COP（静電防止環状オレフィンポリマー）、TVOC＜0.1ppm（SEMI G78）
静電防止設計：表面抵抗10⁶～10⁹Ω、RFID追跡モジュール内蔵
コアバリュー：ウェハー加工コストを15％削減、全自動AMHSシステムに対応
eCT標準ウェハー包装箱
革新的設計：
薄型ウェハー（厚さ＜100μm）専用保護構造、破損率＜0.001％
多層複合緩衝システム、耐衝撃性能50G達成（MILSTD883）
業界認証：SEMI E15.1、JEDEC MS034
真空防湿アルミ箔袋
3層、4層または5層共押出技術を選択可能：
WVTR＜0.1g/m²・day（ASTM F1249）、OTR＜0.5cm³/m²・day
湿度指示カード（HIC）内蔵、精度±2％RH
静電防止機能強化：袋の表面は優れた静電防止性能を備え、抵抗値：105～1011Ω
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