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ウェハー分離用防静電PEパッド
技術特性
表面抵抗率10⁶～10⁹Ω（ASTM D257）、静電消散時間＜0.1秒（ESD S20.20）
引裂強度15N/mm²（ISO 341）、IPA、アセトンなどの溶剤に耐性
清浄度：粒子放出＜5個/cm²（≥0.5μm、IEST-STD-CC1246D）
用途：ウェハーボックス内の緩衝分離、リソグラフィ工程の保護、太陽光発電用シリコンウェハーの輸送
ウェハー分離用防静電Tyvek®パッド
技術革新：
デュポンTyvek® 1056D素材を使用、厚さ0.16mm、透気率0.1cfm/ft²（ASTM D737）
化学的惰性：耐酸アルカリ（pH 1～14）、ISO 10993生体適合性認証取得済み
軽量設計：重量わずか45g/m²、屈曲寿命＞20,000回（ASTM F392）
用途：EUVマスクボックス保護、医療用チップの無菌包装
ウェハー分離用発泡緩衝パッド
性能上の利点：
緩衝効率＞90%（ASTM D3574）、圧縮変形＜10%（25%圧縮率）
カスタマイズ可能な厚さ：1/3/6/10mm（公差±0.1mm）
用途：ウェハーの国際輸送保護、動力電池の形成工程における圧力バランス
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