







HE1010 ウェハーボックス ESDウェハーボックス 200mm
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HESION五次方は、半導体シリコンウェハー(ウェハー)の安全、クリーン、静電気防止のための保管、輸送、搬送を目的として特別に設計されたウェハーキャリアまたはウェハーシッパーを専門に製造しています。
製品説明:
1.材質と構造:
• シリコンウェハーボックスは通常、優れた耐薬品性と帯電防止性能を備えたポリプロピレン(PP)などの高品質なエンジニアリングプラスチックを使用しています。
• ボックス構造は精密に設計されており、個々のウェハーを固定するための複数のスロットが含まれており、輸送中のウェハーの安定性を確保し、衝突や擦り傷を防ぎます。
• 一部のウェハーボックスの内側とエッジには、静電気や物理的な衝撃からウェハーをさらに保護するために、帯電防止材や衝撃吸収材が追加されている場合があります。
2.帯電防止性能:
• シリコンウェハーボックスは通常、帯電防止設計になっており、材料または表面処理により、表面抵抗率が10^6〜10^9オーム/平方メートルに維持され、静電荷を迅速に放散し、静電気放電によるウェハーへの損傷を防ぎます。
3.仕様とモデル:
• ウェハーサイズに応じて、シリコンウェハーボックスは4インチ、6インチ、8インチ、12インチなど、さまざまなサイズがあり、それぞれ異なる直径のウェハーに対応しています。
• ウェハーボックスには、先端半導体製造で使用される12インチウェハー用のFOUP(Front Opening Unified Pod)や、SMIF(Standard Mechanical Interface)システムのウェハーボックスなど、さまざまなモデルがあります。
4.使用とメンテナンス:
• 使用前に、ウェハーボックスがきれいで埃がないことを確認してください。クリーンルーム環境で開閉してください。
• ウェハーをボックスに入れたら、ウェハーとボックス内のスロットがしっかりと密着していることを確認し、移動中に揺れないようにしてください。
• 清掃には、専用のクリーンルームグレードの帯電防止洗浄剤とダストフリークロスを使用し、ウェハーボックスに傷をつけたり、汚染物質を持ち込んだりしないようにしてください。
5.適用場面:
• シリコンウェハーボックスは、ウェハー切断後の保管、クリーンルーム間の搬送、外部輸送中の保護など、半導体製造のあらゆる段階で広く使用されています。
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